1、匹配器日常使用注意事項

　　定期對真空腔體內的插針公母頭進行檢查，防止有嚴重氧化及斷裂現象。

　　確認電極板擺放正確，無順序錯誤；在使用過程中如需調節極板數量及間距，必須確認匹配器自動匹配狀態，如匹配時間較長，則需調節初始值。

　　定期確認匹配器的初始值，長時間使用可能會出現初始值偏移的狀況，需要定期確認并根據實際情況調整。

　　如出現電容無法調節的情況，可打開匹配器，手動控制調節電容，確認葉片電容能否正常旋轉。需留意電機與空氣電容的傳動部分是否有無法轉動的情況，出現卡死需及時報修，如出現齒輪與軸之間打滑，可先自行處理。

　　2、匹配器故障說明

　　空氣電容損壞

　　故障原因：空氣電容在運行過程中摩擦產生導電雜質，造成局部短路；摩擦導致動片軸損壞，無法正常調節。

　　進口晶體管故障

　　故障原因：與空氣電容動片軸損壞有關，空氣電容無法正常工作，射頻輸出阻抗無法調節，導致晶體管擊穿；在使用過程中，匹配器初始值調節不當，匹配時間過長或真空腔體內輝光放電不穩定也會造成晶體管損壞。

　　3、其他事項

　　匹配器是可長時間運行工作的，平時需注意觀察及清潔。定期對匹配內部空氣電容區域進行檢查，打開蓋板查看是否有空氣電容摩擦產生的雜質沉積，如有則需用無塵布+酒精的方法清潔，因雜質通常為導電物質不可用氣吹，以免出現打火及控制部

　　以上即是關于大氣等離子清洗機電源匹配器的故障排除介紹與說明，希望對你有所幫助。