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當前位置:首頁產品中心實驗室常用設備等離子清洗蘇州半導體晶圓等離子清洗機

蘇州半導體晶圓等離子清洗機
產品簡介:

蘇州半導體晶圓等離子清洗機原理:通過對工藝氣體施加電場使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括:離子、電子、原子、自由 活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。

產品型號:

更新時間:2025-12-19

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :903

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產品介紹


提高材料的導電性能:等離子清洗后的材料表面,能夠去除表面的雜質和氧化物,從而提高材料的導電性能。

等離子清洗機廣泛應用于各個領域,如:

- 電子行業:提高電子元器件的附著力和導電性能。

- 汽車制造:提高汽車零部件的耐腐蝕性和附著力。

- 醫療器械:提高醫療器械表面的無菌性和生物相容性。

- 航空航天:提高航空航天器材的表面性能和耐腐蝕性。

總之,等離子清洗機是一款非常實用的設備,能夠大大提高產品的質量和性能

真空等離子主機

設備尺寸

L1000×W900×H1750mm

重量

500Kg

需求電源

AC380V,50/60Hz,5線,30A

等離子發生器規格

電源功率

射頻

中頻

0~600W

0-1000W

電源頻率

13.56MHz

40 KHz

真空系統

真空泵

飛越雙級旋片泵(油泵):60m3/h

真空管路

全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

材質

鋁合金

厚度

25mm

密封性

軍工級焊接密封

腔體內部尺寸

450×450×500mm(寬×高×深)

電極板有效尺寸

410×400mm(寬×深)

可用空間間距

100mm

電極板布置方式

豎直電極板

工作托盤

標配一套,材質可選配(鋁材、304不銹鋼

工作空間

2 6個空間

工藝氣體

流量范圍

0~300SCCM

工藝氣體氣路

標配兩路,可定制

控制系統

系統控制

PLC

交付方式

7寸觸控屏幕



等離子清洗機原理:通過對工藝氣體施加電場使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括: 離子、電子、原子、自由 活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。


蘇州半導體晶圓等離子清洗機

在等離子清洗機中,攝像頭模組被放置在清洗室中,通過等離子體的作用,將模組表面的污垢和有機物分解成無害的氣體和水。由于等離子體的高能量,清洗效果非常明顯,可以將模組表面的污垢和有機物去除,使其恢復原有的光潔度和透明度。同時,等離子清洗機的清洗過程非常快速,可以在短時間內完成清洗,提高生產效率。

廠務規格要求

廠務規格要求

交流電源規格

電源:AC380V,50/60Hz,5線,16A

廠務排氣

流量:2.0 m3/min

廠務工作氣體要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:6×4 mm

材質:PU管

純度:99.99%以上

廠務壓縮空氣要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:8×5 mm

材質:PU管

露點:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft3

除了普通的等離子清洗機外,還有一種寬幅等離子清洗機,可以同時清洗多個攝像頭模組。寬幅等離子清洗機采用連續清洗的方式,可以在一次清洗中同時清洗多個模組,提高了清洗效率和生產效率。同時,寬幅等離子清洗機還具有自動化控制系統,可以實現全自動清洗,減少人工干預,提高清洗質量和穩定性。





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